

半導體激光加工設備是半導體制造的核心裝備,可對硅片、晶圓等進行精密加工,主要包括激光切片、打標、解鍵合及 Trimming 設備,在硅片制造、封裝測試等環節不可或缺。
據頭豹研究院數據,2023年至2028年,中國半導體激光加工設備市場規模預計將從31.4億元增長至70.83億元,年復合增長率達17.31%。政策方面,國家及地方層面通過稅收減免、資金支持等措施積極推動行業發展;需求方面,人工智能、汽車電子等應用推動半導體需求持續增長,先進封裝滲透率提升進一步拉動了相關設備的需求。
競爭格局方面,目前國際市場由國際巨頭主導。2023年,DISCO、EO Technics等三家企業占據中國市場份額的53%,國產廠商合計占比不足15%。不過,國內企業如大族激光、德龍激光等已在部分細分領域實現突破。例如,大族激光的碳化硅切片設備、德龍激光的晶圓隱形切割設備已進入頭部客戶供應鏈。
值得關注的是,無塵拖鏈是保障半導體設備穩定運行的關鍵輔助部件。半導體生產通常要求在百級至十級潔凈室環境中進行,無塵拖鏈能夠對設備內部的線纜和氣管進行密封保護,避免因磨損產生顆粒污染物;同時具備耐高低溫、抗化學腐蝕等特性,可適配激光加工設備工作臺等運動部件的往復運動,確保電信號與流體介質的穩定傳輸,從而保障設備加工精度與生產安全。無塵拖鏈已成為半導體精密制造中不可或缺的配套組件。
未來,在AI推動HBM存儲器需求激增、先進封裝技術持續革新的背景下,半導體激光加工設備將朝著超精密化、智能化方向發展。國內企業有望憑借垂直整合與區域產業集群優勢,加速在高端市場的突破。

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